Penelitian ini bertujuan untuk mempelajari proses pengambilan minyak serai wangi (Citronella oil) dari daun dan batang serai wangi dengan metode distilasi uap dan air dengan pemanasan microwave dan membandingkan hasil yang didapatkan dengan penelitian terdahulu yaitu hydro distillation dan steam distillation kemudian mempelajari beberapa faktor yang berpengaruh terhadap rendemen dan mutu minyak serai wangi yang dihasilkan seperti pengaruh kondisi bahan (segar dan layu) dari daun dan batang serai wangi, pengaruh perlakuan bahan (utuh dan dicacah ± 2 cm), pengaruh bagian dari serai wangi (daun dan batang) serta pengaruh suhu operasi (100 °C, 105 °C dan 110 °C). Penelitian ini dilakukan dengan menggunakan metode distilasi uap dan air (steam and hydro distillation) dengan pemanasan microwave. Dalam pemanfaatan microwave akan ditambahkan pelarut berupa air untuk mengambil minyak di dalam daun dan batang serai wangi serta dilakukan pengambilan distilat tiap 20 menit. Kondisi operasi untuk metode ini adalah pada massa 200 gram dan tekanan atmosferik. Dari hasil penelitian didapatkan % rendemen minyak serai wangi yang tinggi pada variabel daun adalah pada daun layu cacah pada suhu 110 ℃ dengan % rendemen sebesar 1,52 % dan untuk batang adalah pada batang layu cacah pada suhu operasi 110 ℃ dengan % rendemen sebesar 1,03 %. Kandungan Citronella yang tinggi pada daun adalah saat kondisi daun segar sebesar 67,36 % dan pada batang saat kondisi batang layu sebesar 85,73 %. Densitas minyak serai wangi untuk daun pada range 0,872 – 0,882 gram/cm3 dan untuk batang pada range 0,862 – 0,877 gram/cm3. Nilai indeks bias untuk daun pada range 1,415 – 1,472 dan pada batang pada range 1,415 – 1,438. Nilai bilangan asam untuk daun pada range 2,805 – 3,366 dan pada batang pada range 3,086 – 3,647.